Das automatisierte Prüfsystem ACTIVE-LIT erlaubt bereits während des Herstellungsprozesses eine berührungslose Fehlerinspektion an Halbleitermaterialien. Ungleichmäßige Temperaturverteilungen und lokale Energieverluste können mittels des speziellen Lock-In-Verfahrens und einer leistungsfähigen Thermografiekamera in kürzesten Prüfzeiten detektiert werden.

Die Stromversorgung ist für diesen Prozess mit einem Synchronisations- Modul getaktet. Sogar Fehler, die lediglich mK- oder μK-Abweichungen hervorrufen, können verlässlich detektiert werden.

Kleinste Defekte, wie Punkt- und Linien-Kurzschlüsse, Oxidations-, Transistor- und Dioden-Fehler auf einer Leiterplatten- Oberfläche sowie in Schaltkreisen können exakt zweidimensional detektiert und dargestellt werden. Durch eine Veränderung der Lock-In-Frequenz lassen sich Fehler in Stacked-Die-Packages oder Multi-Chip-Modulen sogar räumlich lokalisieren.

Automatisiertes Prüfsystem ACTIVE-LIT - Thermogramm mit Fehler

Vorteile des modularen Messplatzes

  • Online Lock-In-Messung mit höchster
  • Empfindlichkeit Vollständige und präzise mikroskopische Analyse
  • Geometrische Auflösung bis zu 1,3 μm mit Mikroskopobjektiven
  • Thermische Auflösung im Mikrokelvinbereich
  • Mehrschichten-Analyse
  • Automatische Abrasterung größerer Proben über Präzisionsmechanik
Automatisiertes Prüfsystem ACTIVE-LIT - Modularer Messplatz

Aufnahmen von Thermografie-Bildern mit verschiedenen Objektiven

Automatisiertes Prüfsystem ACTIVE-LIT - Teleobjektiv-Aufnahme

100 mm Teleobjektiv

100 mm Teleobjektiv mit 500 mm Close-Up; Pixelauflösung 75 μm

Automatisiertes Prüfsystem ACTIVE-LIT - Mikroskop-Aufnahme

Mikroskopobjektiv 1×

1× Mikroskopobjektiv; Pixelauflösung 15 μm

Automatisiertes Prüfsystem ACTIVE-LIT - Mikroskop-Aufnahme

Mikroskopobjektiv 3×

3× Mikroskopobjektiv; Pixelauflösung 5 μm

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Deutschland

InfraTec GmbH
Infrarotsensorik und Messtechnik
Gostritzer Str. 61 – 63
01217 DresdenDEUTSCHLAND

Thermografie-Software IRBIS® 3 active

  • Bediensoftware mit umfangreichen Analysemöglichkeiten unter Laborbedingungen
  • Optionale Zusatzsoftware zur parametergesteuerten automatischen Fehlerklassifizierung
  • Einfache Handhabung mittles intuitivem Benutzerinterface
  • Darstellung verschiedener Zustände des Messobjektes in Echtzeit
  • Vielfältige Speichermöglichkeiten für Bilddaten und Messergebnisse
  • Darstellung der komplexen Intensitätsinformation als 0°-Bild, 90°-Bild oder mit frei wählbarem Phasenwinkel
  • Bildüberlagerung von Live- und Amplitudenbild
  • Optional: IV-Messung, Undersampling, Driftkompensation, DC-Mode, Verlustleistungsmessung, Nutzer- und Rezeptverwaltung, verschiedene Schnittstellen (z. B. Profibus, Ethernet) zu anderen Systemen
Automatisiertes Prüfsystem ACTIVE-LIT - Software-Oberfläche

Lock-In Testmessung in Echtzeit mit ACTIVE-LIT von InfraTec

Automated Lock-In measurement with ACTIVE-LIT from InfraTec

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Wärmebildkameras für ACTIVE-LIT

  • ImageIR® 10300

    ImageIR® 10300

    Kategorie

    High-End-Thermografie-Systeme

    Bildformat (IR-Pixel)

    (1.920 × 1.536) IR-Pixel

    Detektortyp
    InSb
    Bildfeldrechner
  • Wärmebildkamera VarioCAM® HD head von InfraTec
    VarioCAM® HD head 900

    VarioCAM® HD head 900

    Kategorie

    Stationäre Industriesysteme

    Bildformat (IR-Pixel)

    (2.048 × 1.536) IR-Pixel

    Detektortyp
    Ungekühltes Mikrobolometer Focal Plane Array
    Bildfeldrechner
  • Wärmebildkamera VarioCAM® High Definition von InfraTec
    VarioCAM® HD research 900

    VarioCAM® HD research 900

    Kategorie

    Profi- und Universalkameras

    Bildformat (IR-Pixel)

    (2.048 × 1.536) IR-Pixel

    Detektortyp
    Ungekühltes Mikrobolometer Focal Plane Array
    Bildfeldrechner
  • Wärmebildkamera ImageIR® 9300 Serie von InfraTec
    ImageIR® 9300

    ImageIR® 9300

    Kategorie

    High-End-Thermografie-Systeme

    Bildformat (IR-Pixel)

    (2.560 × 2.048) IR-Pixel

    Detektortyp
    InSb
    Bildfeldrechner
  • Wärmebildkamera ImageIR® 7300 Serie von InfraTec
    ImageIR® 7300

    ImageIR® 7300

    Kategorie

    High-End-Thermografie-Systeme

    Bildformat (IR-Pixel)

    (640 × 512) IR-Pixel

    Detektortyp
    MCT oder InSb
    Bildfeldrechner
  • Wärmebildkamera VarioCAM HDx Lock-in handgehalten
    VarioCAM® HDx Lock-in

    VarioCAM® HDx Lock-in

    Kategorie

    Profi- und Universalkameras

    Bildformat (IR-Pixel)

    (640 × 480) IR-Pixel

    Detektortyp
    Ungekühltes Mikrobolometer Focal Plane Array
    Bildfeldrechner
    Neu
  • Wärmebildkamera VarioCAM HDx head Lock-in
    VarioCAM® HDx head Lock-in

    VarioCAM® HDx head Lock-in

    Kategorie

    Stationäre Industriesysteme

    Bildformat (IR-Pixel)

    (640 × 480) IR-Pixel

    Detektortyp
    Ungekühltes Mikrobolometer Focal Plane Array
    Bildfeldrechner
    Neu
  • Wärmebildkamera VarioCAM® HD head 600 von InfraTec
    VarioCAM® HDx head 600

    VarioCAM® HDx head 600

    Kategorie

    Stationäre Industriesysteme

    Bildformat (IR-Pixel)

    (640 × 480) IR-Pixel

    Detektortyp
    Ungekühltes Mikrobolometer Focal Plane Array
    Bildfeldrechner
    Neu
  • Wärmebildkamera ImageIR® 8800 Serie von InfraTec
    ImageIR® 8800

    ImageIR® 8800

    Kategorie

    High-End-Thermografie-Systeme

    Bildformat (IR-Pixel)

    (1.280 × 1.024) IR-Pixel

    Detektortyp
    MCT
    Bildfeldrechner