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Spektral durchstimmbarer Infrarot-Detektor mit mikromechanischen Fabry-Perot-Filter
02.06.2008| Sensorik

Sensor-Innovationspreis für Technologie aus Dresden

Die Entwicklung eines „Spektral durchstimmbaren Infrarot-Detektors mit mikromechanischen Fabry-Perot-Filter“ durch die InfraTec GmbH wurde jetzt

in Nürnberg aus Anlass der Messe SENSOR + TEST mit dem "SENSOR Innovationspreis 2008" des AMA Fachverbandes für Sensorik e.V. ausgezeichnet.

Das Entwicklerteam Dr. Norbert Neumann von der InfraTec GmbH, Dr. Karla Hiller vom Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz und Dr. Steffen Kurth vom Institutsteil Chemnitz des Fraunhofer Institutes für Zuverlässigkeit konnte sich mit seinem Infrarot-Detektor gegen 24 weitere Mitbewerber durchsetzen und den mit 10.000 € dotierten Preis aus den Händen der Vorsitzenden des AMA Fachverbandes und der Jury empfangen.

Kernstück der Innovation ist ein mikromechanisches Fabry-Perot-Interferometer für den Spektralbereich 3...5 µm, das als durchstimmbares Filter mit einem pyroelektrischen Infrarotdetektor in einem TO8-Gehäuse eingebaut ist. In der Begründung der Jury hießt es: Mit dem nun vorliegenden, in Volumen-Mikromechanik realisierten System ist es durch konsequente Optimierung des Aufbaus und der Prozessierung erstmals gelungen, ein leistungsfähiges Modul mit guter spektraler Auflösung und hoher optischer Qualität zu realisieren, das vielfältige Anwendungen von der Umwelt- über die Sicherheits- bis zur Medizintechnik erschließt.

Die Entwicklung wurde in den letzten Jahren von der Sächsischen AufbauBank im Rahmen des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) und mit Mitteln des Freistaates Sachsen gefördert. Weiterentwicklungen sollen im Rahmen der Förderprogramme „Optische Technologien“ und „Forschung für die Produktion von morgen“ des Bundesministeriums für Bildung und Forschung unter Einbeziehung weiterer Industriepartner aus ganz Deutschland umgesetzt werden.